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现代加工技术丛书-微细加工技术
出版日期：2004-10-1 作    者：刘明
出 版 社：化学工业出版社 语    言：简体中文
条    码： 重    量：0KG
页    码：0 版    次：第1版
装    帧：平装 开    本：16开
类    别：1012 国    家：中国
市场定价：35.00 OTO价格：30.80 为您节省：¥4.20
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现代加工技术丛书-微细加工技术

本书是《现代加工技术丛书》之一。本书从微细加工技术的基础知识讲起，较为详细地介绍了光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术、X射线光刻技术、极端远紫外光刻技术、刻蚀技术以及其他纳米加工技术。本书较为全面地反映了我国微细加工技术的现状，并在此基础上介绍了国际微细加工的先进技术及其发展趋势，是从事微细加工技术的科研人员、本科生、研究生以及对微电子感兴趣的人员的参考书。