精密加工技术是先进制造技术的基础和关键，是先进和实用的技术。本书内容主要包括精密加工概述、精密切削加工、精密磨削加工、精密特种加工技术、金属精密加工应用实例、硬脆非金属材料精密加工实例和半导体基片的超精密加工等。本书适合从事精密加工的技术工人使用，也可供从事精密加工的工程技术人员及管理人员参考。 前言 第一章 精密加工概述 第一节 精密加工的技术内涵 第二节 精密加工体系及发展 第二章 精密切削加工 第一节 精密切削机理 第二节 精密切削加工机床及其应用 第三章 精密磨削加工 第一节 精密磨削加工机理 第二节 超精密磨削加工技术 第四章 精密特种加工技术简介 第一节 概述 第二节 典型的精密特种加工技术 第五章 金属精密加工工艺及实例 第一节 精密加工与热处理 第二节 超精密切削加工工艺及实例 第三节 特种加工工艺应用实例 一、挤压珩磨加工实例 第四节 金属超精密加工实例 一、球面、非球面反射镜的精密切削 第五节 典型精密元件加工 第六章 硬脆非金属材料的精密加工实例 第一节 陶瓷加工 第二节 磁头的精密加工 第三节 光学透镜、棱镜的加工 第四节 反射光栅的加工 第五节 石英振子的加工 第六节 金刚石的超精密加工 第七节 宝石的加工 第七章 半导体基片的超精密加工 第一节 半导体基片的加工特性 第二节 半导体基片的加工技术 第三节 其他加工方法和加工装置 参考文献