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气相沉积应用技术
出版日期: 作    者:王福贞 马文存 责任编辑:王兴垣
出 版 社:机械工业出版社 语    言:简体中文
条    码: 重    量:0KG
页    码:411 版    次:
装    帧:平装 开    本:B5
类    别:1810 国    家:
市场定价:38.00 OTO价格:33.44 为您节省:¥4.56
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气相沉积应用技术

本书在第1篇中全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析。在第2篇中介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、信息存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化和柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。本书内容丰富新颖,力求紧密联系实际。